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微电子厂尾气处理设备

2020-12-10 10:16:00    责任编辑: 尾气处理设备制造厂商     0

随着信息化时代的到来,微电子行业也在迅速发展,微电子厂给社会带来的经济效益及就业率是有目共睹的,但随之而来的还有对大气的污染。对于微电子行业工艺过程中挥发的各类废气,如果这些废气未经尾气处理设备净化处理,就直接排放入大气中势必会对周边环境造成污染,且会对人身体健康造成影响和危害。


主要来源:

在微电子行业中造成环境污染的有害气体,主要来源于芯片或者是线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中。

主要成分:

微电子行业废气排放的主要成分:有机废气和酸碱废气两类。有机类有:非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等;酸碱类有:氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。

对于以上这些残存的气体如果于管线中反应,轻者可能造成风管堵塞、管路腐蚀等问题,严重者甚至发生泄漏及火灾爆炸,停止生产的后果。因此在工作区域需配置适合工艺气体特性的小型尾气处理设备(Local Scrubber),以减少在工作区域滯留的废气确保人员安全。



吸附式尾气处理设备(Local Scrubber)可处理气体种类多样,吸附工艺主要原理就是利用多孔固体吸附剂(活性碳、硅胶、分子筛等)来处理废气,这样就能够通过化学键力或者是分子引力充分吸附有害成分,并且将其吸附在吸附剂的表面,从而达到净化废气的目的。


综上所述,微电子行业工艺过程中因使用一些化学药剂(如硫酸、盐酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有机卤化物)挥发和特种气体残留的废气,会对大气环境造成污染,而且这些污染气体还会造成人群慢性或急性中毒,所以,需经尾气处理设备净化处理后,方可排入大气。

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